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Tokyo Electron 3D80-000762-21匹配器模塊 PDF資料 

1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：

中文資料：

Tokyo Electron 3D80-000762-21 匹配器模塊（Matching Network Module） 是半導(dǎo)體制造設(shè)備中用于射頻（RF）功率傳輸和阻抗匹配的關(guān)鍵組件，主要應(yīng)用于等離子體蝕刻和沉積設(shè)備的 RF 系統(tǒng)中。該模塊確保射頻能量高效傳遞到反應(yīng)腔體，優(yōu)化等離子體穩(wěn)定性和工藝一致性。

一、產(chǎn)品功能定位

• 模塊類型：射頻匹配網(wǎng)絡(luò)模塊

• 主要功能：

• 調(diào)整射頻輸出端的阻抗，實現(xiàn)源極與負(fù)載的最佳匹配；

• 最大限度減少反射功率，提高 RF 能量傳輸效率；

• 保護(hù)射頻功率源，避免過載和損壞；

• 支持自動或手動匹配調(diào)整功能。

二、主要應(yīng)用領(lǐng)域

1. 等離子體蝕刻設(shè)備

• 維持腔體內(nèi)等離子體的穩(wěn)定性；

• 確保 RF 電源與負(fù)載之間的最佳功率傳輸；

• 適應(yīng)不同工藝氣體和腔體條件下的阻抗變化。

2. 化學(xué)氣相沉積（CVD）和物理氣相沉積（PVD）系統(tǒng)

• 優(yōu)化射頻等離子體生成，提升膜層均勻性和質(zhì)量；

• 保障高頻電源的安全運行。

3. 等離子增強工藝（PECVD、RIE）

• 動態(tài)調(diào)整匹配參數(shù)，滿足多工藝切換需求。

英文資料：

The Tokyo Electron 3D80-000762-21 Matching Network Module is a key component used for radio frequency (RF) power transmission and impedance matching in semiconductor manufacturing equipment, mainly applied in RF systems of plasma etching and deposition equipment. This module ensures efficient transfer of RF energy to the reaction chamber, optimizing plasma stability and process consistency.

1、 Product functional positioning

Module type: RF matching network module

Main functions:

Adjust the impedance of the RF output terminal to achieve optimal matching between the source and load;

Minimize reflected power and improve RF energy transmission efficiency;

Protect the RF power source to avoid overload and damage;

Support automatic or manual matching adjustment function.

2、 Main application areas

1. Plasma etching equipment

Maintain the stability of the plasma inside the cavity;

Ensure optimal power transmission between RF power supply and load;

Adapt to impedance changes under different process gases and chamber conditions.

2. Chemical vapor deposition (CVD) and physical vapor deposition (PVD) systems

Optimize RF plasma generation to improve film uniformity and quality;

Ensure the safe operation of high-frequency power supply.

3. Plasma enhanced processes (PECVD, RIE)

Dynamically adjust matching parameters to meet the requirements of multi process switching.

2.產(chǎn)      品      展      示      

3.其他產(chǎn)品

Intelligent Instrumentation TM2500-001B 終端操作面板

GE TBC43400F14G 電路保護(hù)器

GE TB43225AF14?斷路器

4.其他英文產(chǎn)品

ASEA 2668 184-447 Communication Module

RADISYS EXM-HDEXM-MX Memory Module

VMIVME-2540 Intelligent Counter Controll

本篇文章出自瑞昌明盛自動化設(shè)備有限公司官網(wǎng)，轉(zhuǎn)載請附上此鏈接:http://www.jiangxidcs

品牌：TEL Tokyo Electron

型號：3D80-000762-21匹配器模塊

質(zhì)保：一年

成色：全新/二手

優(yōu)勢產(chǎn)品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特點：主營產(chǎn)品各種模塊/卡件，控制器，觸摸屏，伺服驅(qū)動器。

應(yīng)用行業(yè)：廣泛應(yīng)用于冶金、石油天然氣、玻璃制造業(yè)、鋁業(yè)、石油化工、煤礦、造紙印刷、紡織印染、機械、電子制造、汽車制造、煙草、塑膠機械、電力、水利、水處理/環(huán)保、市政工程、鍋爐供暖、能源、輸配電等

快遞方式：國內(nèi)順豐、德邦、京東快遞包郵，按照實際報價貨期發(fā)貨  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2機箱