Tokyo Electron 2L39-000039-25自動(dòng)匹配器 PDF資料
1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：
中文資料：
Tokyo Electron 2L39-000039-25 自動(dòng)匹配器（Automatic Matching Network） 是半導(dǎo)體制造設(shè)備中用于射頻（RF）系統(tǒng)的關(guān)鍵模塊，主要功能是自動(dòng)調(diào)整射頻功率源與負(fù)載之間的阻抗匹配，以優(yōu)化射頻能量傳輸效率，保證工藝穩(wěn)定性和設(shè)備安全。
一、產(chǎn)品功能定位
模塊類型：自動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)
主要功能：
實(shí)時(shí)檢測負(fù)載阻抗變化，自動(dòng)調(diào)節(jié)匹配電路參數(shù)；
最大限度減少反射功率，提升射頻傳輸效率；
保護(hù)射頻功率源，防止過載和故障；
支持多種射頻功率級(jí)別，滿足不同工藝需求。
二、主要應(yīng)用領(lǐng)域
1. 等離子體蝕刻設(shè)備
保持等離子體穩(wěn)定，提升蝕刻均勻性；
自動(dòng)適應(yīng)工藝氣體及腔體變化帶來的阻抗波動(dòng)。
2. 化學(xué)氣相沉積（CVD）和物理氣相沉積（PVD）設(shè)備
優(yōu)化射頻能量輸入，提高薄膜質(zhì)量和一致性；
支持多工藝參數(shù)切換，提升生產(chǎn)靈活性。
3. 等離子增強(qiáng)工藝（PECVD、RIE）
實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)匹配，減少設(shè)備調(diào)試時(shí)間；
提升設(shè)備運(yùn)行效率和穩(wěn)定性。
英文資料：
The Tokyo Electron 2L39-000039-25 Automatic Matching Network is a key module used in semiconductor manufacturing equipment for radio frequency (RF) systems. Its main function is to automatically adjust the impedance matching between the RF power source and the load to optimize RF energy transfer efficiency, ensure process stability and equipment safety.
1、 Product functional positioning
Module type: Automatic impedance matching network
Main functions:
Real time detection of load impedance changes and automatic adjustment of matching circuit parameters;
Minimize reflected power and improve RF transmission efficiency to the greatest extent possible;
Protect the RF power source to prevent overload and malfunction;
Support multiple RF power levels to meet different process requirements.
2、 Main application areas
1. Plasma etching equipment
Maintain plasma stability and improve etching uniformity;
Automatically adapt to impedance fluctuations caused by process gas and chamber changes.
2. Chemical vapor deposition (CVD) and physical vapor deposition (PVD) equipment
Optimize RF energy input to improve film quality and consistency;
Support multi process parameter switching to enhance production flexibility.
3. Plasma enhanced processes (PECVD, RIE)
Realize fast automatic matching and reduce equipment debugging time;
Improve equipment operation efficiency and stability.
2.產(chǎn) 品 展 示
3.其他產(chǎn)品
4.其他英文產(chǎn)品
ASEA E-31709 Robot Circuit Board
IS200EPSMG1ABB Analog Input Module
| SC752B-001-01 | AMAT 0100-35117 | 26390582-CR DSTK132 ABB |
| SC752A-001-02 | AMAT 0100-00454 | 57520001-EV DSCS140 ABB |
| SC726A-001-PM2009 | AMAT 0100-01-252 | PFEA 113-65.3PXV |
| SC726A-001 | AMAT 0100-90095 | DSDI451 ABB |
| SC725B001-01 | AMAT 0100-02075 | PFEA 112-20 |
| SC725B00101 | AMAT 0100-71121 | PFEA111-20 |
| SC725A-001-PM72016 | AMAT 00100-94015 | PFEA 113-65.2PXV |
本篇文章出自瑞昌明盛自動(dòng)化設(shè)備有限公司官網(wǎng)，轉(zhuǎn)載請附上此鏈接:http://www.jiangxidcs
