TEL Tokyo Electron 381-640841-3數字輸入模塊 PDF資料
1.產 品 資 料 介 紹：
中文資料：
產品名稱：TEL Tokyo Electron 381-640841-3 數字輸入模塊
產品類型：數字量輸入模塊（Digital Input Module）
制造商：Tokyo Electron Ltd.
一、主要功能：
381-640841-3 是一款用于TEL半導體設備中的數字輸入模塊，負責采集外部的開關量信號，例如：
安全門開閉檢測
機械限位開關狀態(tài)
氣壓或真空傳感器開關狀態(tài)
流量閥開關狀態(tài)
IO控制設備的狀態(tài)反饋
二、技術特性（根據TEL模塊通用設計推測）：
輸入類型：數字量信號（干接點或電壓輸入，一般為24V DC）
通道數：可能為8、16或32路輸入通道
信號隔離：光耦隔離
安裝方式：背板插卡式，專用于TEL設備內部控制系統(tǒng)
通訊方式：通過TEL設備主控制平臺（如PLC、工控主板）與其它模塊協(xié)作通信
三、應用場景：
此模塊通常用于以下Tokyo Electron設備：
涂膠顯影機（Coater/Developer）
CVD、Etch、PVD 系統(tǒng)
晶圓搬運和載片系統(tǒng)
腔體控制系統(tǒng)
安全互鎖邏輯控制回路
英文資料：
Product Name: TEL Tokyo Electron 381-640841-3 Digital Input Module
Product type: Digital Input Module
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd
1、 Main functions:
381-640841-3 is a digital input module used in TEL semiconductor equipment, responsible for collecting external switch signals, such as:
Safety door opening and closing detection
Mechanical limit switch status
Air pressure or vacuum sensor switch status
Flow valve switch status
Status feedback of IO control devices
2、 Technical characteristics (inferred from the universal design of TEL module):
Input type: Digital signal (dry contact or voltage input, usually 24V DC)
Number of channels: possibly 8, 16, or 32 input channels
Signal isolation: Optocoupler isolation
Installation method: Backboard plug-in card, specifically designed for internal control systems of TEL devices
Communication method: Collaborate and communicate with other modules through the TEL device main control platform (such as PLC, industrial control motherboard)
3、 Application scenarios:
This module is typically used for the following Tokyo Electron devices:
Coater/Developer
CVD, Etch, PVD systems
Wafer handling and wafer loading system
Cavity control system
Safety interlock logic control circuit
2.產 品 展 示
3.其他產品
4.其他英文產品
RADISYS 061-05927-0031 adapter module
KOLLMORGEN S70602-NANANA servo/driver
ASEA ES1530b module card board
| R88SENA-R2-NS-NV-03 | SC323A-024 | S32HNBA-RNVM-00 |
| R88HENA-R2-NS-NV-00 | SC403-017-T4 | SC102-001-T3 |
| R88GSNF-TS-M2-NV-04 | SC101-001 | S31GMNA-RNNM-00 |
| R88GENA-R2-NS-NV-00-3 | SC402-023-T4 | SC103-001-T1 |
| R88GENA-R2-NS-NV-00 | SC402-012-T4 | SC103-001-T3 |
| R86HENA-R2-NS-NV-00 | SC323A031 | S32GNNH-RNNM-00 |
| R86GENA-R2-NS-NV-00 | SC402-024 | SC101-001-T2 |
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